2021年3月20日，由中国集成电路创新联盟举办的2021集成电路产业链协同创新发展交流会在京沪两地同步召开，会议就集成电路创新和产业链合作经验作了交流，并探讨集成电路未来创新发展的新思路、新举措。
       作为本次会议的重要内容，大会颁发了中国集成电路创新联盟第四届“IC创新奖”，以表彰在集成电路领域技术创新和关键技术开发方面取得重大突破的单位，广东华特气体股份有限公司 “高纯六氟乙烷的研发与产业化”项目荣获“成果产业化奖”。
        在主持人宣读的颁奖词中，广东华特气体股份有限公司的“高纯六氟乙烷的研发与产业化”项目采用高效二次精馏技术及节能低温吸附和加压吸附技术相结合，采用专用吸附剂，实现六氟乙烷产品的纯度在5N3 以上。成果专利获得中国专利奖优秀奖，主导制定国家标准，并获得第十届中国半导体创新产品和技术、广东省名牌产品等多项荣誉。六氟乙烷已实现批量生产，长期供应于中芯国际、华润上华、华虹宏力、台积电等多个知名企业，目前国内市场占有率40%以上，大大推动了六氟乙烷国产化进程。