2021年是国家十五规划开局之年，也是集成电路加快构建新发展格局的关键一年。在此背景下，2021集成电路产业链协同创新发展交流会暨中国集成电路创新联盟大会于3月20日在北京上海两地同时召开。大会特别表彰了在集成电路领域技术创新和成果产业化方面取得重大突破的单位。集成电路材料产业技术创新联盟副理事长单位中巨芯科技有限公司荣获“技术创新奖”。

中巨芯此次获奖项目为“12英寸集成电路先进制程用电子级氢氟酸关键技术研发与应用”。大会表彰了中巨芯项目团队通过技术攻关，突破了电子级氢氟酸生产提纯、检测、包装、防二次污染等关键技术瓶颈，产品主要性能和技术指标超过国际SEMI标准G5要求，达到国外同类产品先进水平，目前产品已经稳定应用于国内先进的12英寸晶圆、28纳米线制程，以及1X纳米线宽DRAM制程，覆盖了国内70%以上集成电路制造客户，保障了我国超大规模集成电路等领域的可持续发展。