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集成电路材料产业技术创新联盟团体标准审查会在宁波举行

集成电路材料产业技术创新联盟团体标准审查会在宁波举行

来源:
2020/12/18
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2020年12月16日,集成电路材料产业技术创新联盟(以下简称“ICMtia”)标准委员会在宁波举行了团体标准审查会。

会议由ICMtia标准委员会主任刘兵主持,审查组专家及部分相关单位的领导和工程技术人员出席了本次会议。会议审查了由ICMTtia归口,由宁波南大光电材料有限公司起草的《集成电路用ArF干式光刻胶》、《集成电路用ArF浸没式光刻胶》《集成电路用ArF光刻胶的光刻检测方法》和由徐州博康信息化学品有限公司起草的《集成电路用ArF光刻胶单体第1部分:液体甲基丙烯酸酯类》、《集成电路用ArF光刻胶单体第1部分:固体甲基丙烯酸酯类》五项团体标准送审稿。

审查组专家听取了标准编制组的汇报后,审阅了相关资料,并对标准送审稿逐项逐条进行了严格细致审查和讨论,提出许多可行性的修改意见。

整个审查过程严格遵循ICMtia标准委员会《标准制定程序》规定,最终审查组投票通过了《集成电路用ArF干式光刻胶》、《集成电路用ArF浸没式光刻胶》《集成电路用ArF光刻胶的光刻检测方法》和《集成电路用ArF光刻胶单体第1部分:液体甲基丙烯酸酯类》、《集成电路用ArF光刻胶单体第1部分:固体甲基丙烯酸酯类》送审稿的审定,并建议编制组按审查组的意见修改后形成标准报批稿。