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摆脱日企依赖!韩国SK Materials已实现高纯度氟化氢量产

摆脱日企依赖!韩国SK Materials已实现高纯度氟化氢量产

来源:
BusinessKorea
2020/06/19
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据BusinessKorea报道,SKMaterials于6月17日宣布已开始大规模生产用于半导体制造的高纯度氟化氢气体。

据悉,韩国此前一直向日本进口高纯度氟化氢,不过日本政府在去年7月将出口至韩国的三项材料(氟聚酰亚胺、光刻胶、氟化氢)列入了管制清单,这致使韩国半导体公司不得不寻找可替代的方案。

该报道称,SKMaterials去年年底成功开发了超高纯度氟化氢气体的原型,并在庆尚省北部的荣州工厂建造了一个15吨的生产设备,目标是到2023年将本土化率提高到70%。

此外,该公司还计划投资400亿韩元建造一个生产光刻胶的工厂,光刻胶是另一项受日本出口限制的产品。据报道,该公司正在为工厂选址,目标是明年建成并预计从2022年开始每年生产5万加仑的光刻胶。