日前，有研半导体材料有限公司在大硅片产业发展中迈出重要一步，公司经过一年的筹划准备，首次引入水平超导磁场及配套大型直拉单晶炉系统，在疫情期间克服种种困难，完成设备的安装调试，并于5月29日成功拉制出完整的12英寸单晶棒，晶棒总重量超过320公斤。此次大尺寸单晶的研发攻关，从热场设计到工艺模拟，再到拉晶调试，均由有研半导体团队自行完成。实验的突破和进展，标志着公司在12英寸大硅片产业布局上迈出了关键的一步，为公司12英寸集成电路用大硅片产业化项目顺利实施奠定了坚实的基础。
有研半导体材料有限公司超导磁场大型系统12英寸单晶硅棒顺利出炉
来源：
2020/06/03
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