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T/ICMTIA 3-2020《集成电路用六氯乙硅烷》团体标准发布公告

T/ICMTIA 3-2020《集成电路用六氯乙硅烷》团体标准发布公告

来源:
ICMtia
2020/02/24
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各有关单位:

 

  根据《团体标准管理规定》及《集成电路材料产业技术创新联盟标准制定程序》要求,经联盟标准委员会审议通过,现批准发布T/ICMTIA 3-2020《集成电路用六氯乙硅烷》团体标准。

 

本标准于2020224日发布,并于2020424日开始实施,特此公告。

 

 

集成电路材料产业技术创新联盟

 二零二零年二月二十四日

T/ICMTIA 3-2020《集成电路用六氯乙硅烷》团体标准目录

 

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