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集成电路材料联盟电子气体Workshop第一次会议在上海顺利召开

集成电路材料联盟电子气体Workshop第一次会议在上海顺利召开

来源:
2019/06/03
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    2019531日,由集成电路材料产业技术创新联盟(以下简称“材料联盟”)主办的、上海正帆科技股份有限公司承办的电子气体Workshop第一次会议在上海正帆科技大厦顺利召开。

    与会代表就特种电子气体生产、运输、使用、及储存的安全管控问题进行了热烈讨论,一致认为特种电子气体安全管控至关重要,必须增强员工安全理念,完善安全管理体系,推进特种电子气体安全行业标准和法规的出台和更新,推进特种电子气体应急预案处理平台的成立,避免特种电子气体的安全隐患。

材料联盟电子气体Workshop第一次会议合影

    无锡华润上华科技有限公司晶圆二厂质量部经理吴卓能作了国产电子质量提升机会与挑战报告,分享了华润上华在质量管理中的成功经验。分别从人员管理、过程控制、零缺陷、变更管理四个方面介绍了特种电子气体国产化面临的挑战,指出行业中存在人员风险意识淡薄、生产过程缺少PDCA改善循环、风险管控不足、擅自变更产品标准等问题,强调保证产品质量稳定性是推进电子气体国产化的前提,擅自变更产品标准可能会导致Fab厂重大质量问题,造成重大经济损失。

华润上华晶圆二厂质量部经理吴卓能作报告

    材料联盟秘书长石瑛讲话并作电子气体产业现状分析报告,通过翔实的数据对电子气体行业从业人员构成、研发及产业发展投入、专利数量、生产能力、销售收入、净利润、主要产品销售收入及应用的节点工艺、FAB厂电子气体批量应用分析等方面进行了分析,并指出目前特种电子气体行业存在企业研发投入少、产品同质化严重、企业低价竞争、公司净利润率逐年下滑的现象,应引起产业界重视。

材料联盟秘书长石瑛讲话并作报告

    正帆科技气体安全专家Eugene Ngai作了电子特种气体安全使用报告。分别介绍了磷烷、砷烷、硅烷、锗烷、乙硼烷等电子气体的物理化学性质,并介绍了这些电子气体可能存在的安全问题以及应当采取的应急处理措施。

正帆科技气体安全专家Eugene Ngai作报告

    来自中芯国际集成电路制造有限公司、上海华力微电子有限公司、上海华虹宏力半导体制造有限公司、无锡华润上华科技有限公司晶圆二厂、武汉新芯集成电路制造有限公司、苏州晶方半导体科技股份有限公司、中芯集成电路(宁波)有限公司等7家用户单位代表以及中国船舶重工集团公司第七一八研究所、江苏南大光电材料股份有限公司、中巨芯科技有限公司、广东华特气体股份有限公司、贵州威顿晶磷电子材料股份有限公司、大连保税区科利德化工科技开发有限公司、福建德尔科技有限公司、安徽亚格盛电子新材料有限公司、苏州金宏气体股份有限公司、中昊光明化工研究设计院有限公司、绿菱电子材料(天津)有限公司、江苏雅克科技股份有限公司、博纯材料股份有限公司、重庆同辉气体有限公司、衢州杭氧特种气体有限公司、洛阳中硅高科技有限公司、上海中特晶微气体有限公司、广东先导稀材股份有限公司、江苏鑫华半导体材料科技有限公司、上海正帆科技股份有限公司、慧瞻材料、空气产品、法液空、REC 美国瑞科硅材料公司、大阳日酸、比欧西(中国)投资有限公司(林德集团)、住友精华贸易(上海)、大金氟化工(中国)有限公司、云南锡业研究院公司等29家企业代表共计80余人参加了本次会议。

小组讨论照片

    上海正帆科技股份有限公司创立于2000年,近二十年来一直致力于向中国的泛半导体产业提供超高纯电子气体和化学品供应系统。在客户、政府和行业协会的鼓励和指导下,近年来正帆科技开始进入电子材料领域,向客户提供砷烷、磷烷、硅烷、多种混合气和其它制程关键材料。同时,正帆科技也在电子材料回收和循环利用技术上进行了长期的投入。正帆科技希望以其传统的气体装备与服务业务为支点,向客户提供更大价值。在电子材料领域正帆科技是新进入者,希望得到业内同行的支持和指导。正帆科技也将与业内的朋友们积极配合,避免无赢家的恶性竞争,营造并维持一个良性的市场环境。

上海正帆科技股份有限公司董事长兼总裁俞东雷致辞