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材料和零部件联盟电子气体标准工作组会议在北京顺利召开

材料和零部件联盟电子气体标准工作组会议在北京顺利召开

来源:
2018/08/08
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2018年8月6日,由集成电路材料和零部件产业技术创新战略联盟标准委员会(以下简称“联盟标委会”)主办的电子气体标准工作组会议在北京举行。

联盟标准化工作委员会于2017年底成立,并已完成在“全国团体标准信息平台”的注册和公示。目前,联盟已有11项标准立项,10项标准完成起草进入征求意见阶段。

本次会议根据集成电路制造企业和电子气体供应商的共同需求,扩充联盟标委会组成,重点吸收中芯国际集成电路制造有限公司、上海华虹宏力半导体制造有限公司、上海华力微电子有限公司、武汉新芯集成电路制造有限公司、无锡华润微电子有限公司等制造企业的工程和品质管理技术专家加入,以适应快速提升电子气体技术水平、品质保障能力和量产应用的需求。

本次会议重点围绕高端集成电路制造对电子气体的技术水平、产品规范、供应商资质要求等进行了深入交流,系统研究了电子气体标准体系架构,并制定了电子气体基础规范标准框架。

会议还讨论通过了《半导体制造用八氟环丁烷》和《半导体制造用二氧化碳》两项团体标准的立项建议。

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