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半导体厂高纯硫酸回收再利用研讨会在上海顺利召开

半导体厂高纯硫酸回收再利用研讨会在上海顺利召开

来源:
2017/05/11
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  2017年4月27日,由集成电路材料和零部件产业技术创新战略联盟(以下简称“联盟”)主办,海科集团、上海新探创业投资有限公司承办的“半导体厂高纯硫酸回收再利用研讨会”在上海举行。国家环保局高级工程师何艺、上海市科委高新处副处长宋扬、社发处朱环、姜玲、上海市环保局陈小亮、中国循环经济协会专家曲睿晶、副秘书长范东梅、中国硫酸工业协会秘书长李崇、联盟秘书长石瑛、海科集团副总裁殷庆元、新探公司总经理张生安等代表、中芯国际集成电路制造(上海)有限公司、上海华力微电子有限公司、上海华虹宏力半导体制造有限公司、江阴江化微电子材料股份有限公司、多氟多化工股份有限公司、石家庄诚志永胜电子科技有限公司等公司代表共计三十余人出席研讨会,围绕半导体行业用硫酸回收复用绿色发展道路和海科集团示范工程实施方案等议题进行了深入探讨。

  联盟秘书长石瑛女士主持会议并指出半导体化学品回收复用对于保护环境、节约资源、推进绿色制造和可持续发展具有显著的经济效益和社会效益。但现阶段实现半导体制造用化学品原级复用还存在工艺技术、Fab厂管理配合、环保部门监管以及运营模式等诸多有待协同和解决的问题,同时也缺乏行业标准的指导,需要相关企业和行业监管部门的积极参与,海科集团提出的原级复用技术及建立示范工程将会发挥很好的示范作用。

  

秘书长讲话

  集成电路材料和零部件产业技术创新战略联盟秘书长石瑛主持开幕

  

研讨会现场

  研讨会现场

  中芯国际、华力微电子、华虹宏力等半导体制造企业代表从用户角度介绍了废酸处理现状及原级复用的愿望,指出随着我国集成电路制造水平的不断提高和Fab厂规模的不断扩大,生产过程中对高纯硫酸的需求量呈指数级增长,随之带来的废酸产出量急速上升、危废化学品处置成本明显增加已成为困扰每个晶圆加工厂的难题。江化微电子材料股份有限公司、诚志永胜电子科技有限公司等企业分享了在相关化学品回收复用方面的经验和体会,与会代表就废酸处理现状、亟需解决的问题及业界可以借鉴的经验等展开了热烈的讨论。

  国家环保部高级工程师何艺、中国循环经济协会专家曲睿晶分别从“十三五”危险废物污染防治形式及中国废硫酸环境管理现状两方面做了相关环保政策解读。上海市科委宋扬处长、上海市环保局陈小亮介绍了目前上海市环保部门对半导体危废化学品回收行业的监管现状,指出半导体危废化学品回收复用意义重大毋庸置疑,欢迎相关企业能参与其中并积极推动该领域高新技术的发展。

  海科集团副总裁殷庆元就试点工程的厂址选择、盈利模式、中央分析室建立、政府资质审批、用户认可等五个方面和与会代表进行面对面交流,并表示海科集团作为一家秉持可持续发展理念的化工企业,在发展的过程中,不能以牺牲环境、牺牲社会的综合成本作为代价,希望尽快完善试点项目方案并推进实施。

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