材料产业化”正式获批。该项目是国家科技重大专项“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”（02专项）的子项目，项目执行期为2015年—2018年，将研发300mm晶圆28-14nm“干进干出”CMP整机设备及结合配套材料的成套工艺，并实现产业化，预计产品性能指标将达到国际先进水平。
中国电子科技集团公司第四十五研究所简介:
中国电子科技集团公司第四十五研究所创立于1958年，是国内专门从事电子元器件关键工艺设备技术、设备整机系统以及设备应用工艺研究开发和生产制造的国家重点科研生产单位。45所以光学细微加工和精密机械与系统自动化为专业方向，以机器视觉技术、运动控制技术、精密运动工作台与物料传输系统技术、精密零部件设计优化与高效制造技术、设备应用工艺研究与物化技术、整机系统集成技术等六大共性关键技术为支撑，围绕集成电路制造设备、半导体照明器件制造设备、光伏电池制造设备、光电组件制造和系统集成与服务等五个重点技术领域，开发出了电子材料加工设备、芯片制造设备、光/声/电检测设备、化学处理设备、先进封装设备、电子图形印刷设备、晶体元器件和光伏电池等八大类工艺设备和产品，服务于集成电路、光电元器件与组件、半导体照明和太阳能光伏电池四大行业。
天津华海清科机电科技有限公司简介:
天津华海清科机电科技有限公司是天津市政府与清华大学践行“京津冀一体化”国家战略，为推动我国化学机械抛光（CMP）技术和设备产业化成立的高科技企业。华海清科成立于2013年，主要从事CMP设备的研发、生产、销售与服务。公司核心团队成员来自清华大学及业内顶尖企业，公司拥有CMP技术专利100余项，是目前国内唯一具备研发和生产12英寸（300mm）铜CMP整机设备能力的企业。公司产品可广泛应用于IC制造、TSV/3D封装、MEMS、晶圆、基片等制造领域。