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上海正帆科技股份有限公司
主要产品及性能介绍
联系方式
| 产品分类 | 二级分类 | 产品名称 | 图片介绍 | 生产厂家 |
产品特征 |
| 特种电子气体和前驱体 |
气相沉积用气体/离子注入用气体
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砷烷AsH3 |
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合肥正帆电子材料有限公司 | 正帆自主研发与生产，纯度有6.5N&6N两种规格,提供用于CVD的正压钢瓶与离子注入的负压钢瓶 |
| 特种电子气体和前驱体 | 气相沉积用气体/离子注入用气体 | 磷烷PH3 |
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合肥正帆电子材料有限公司 | 正帆自主研发与生产，纯度为6N,提供用于CVD的正压钢瓶与离子注入的负压钢瓶 |
| 特种电子气体和前驱体 | 气相沉积用气体 | 硅烷SiH4 |
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合肥正帆电子材料有限公司 |
1）纯度为6N
2）包装：47L，440/470LY瓶，槽车
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| 特种电子气体和前驱体 | 气相沉积用气体 | SiH4混合气 |
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合肥正帆电子材料有限公司 | 正帆生产的SiH4混合气应用于LED外延及芯片工艺，满足客户对于混配比例的高要求，混配比例50ppm~20% |
| 特种电子气体和前驱体 | 气相沉积用气体 | PH3混合气 |
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合肥正帆电子材料有限公司 | 正帆生产的PH3混合气应用于集成电路与平板显示行业，满足客户对于混配比例的高要求，混配比例50ppm~20% |