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上海正帆科技股份有限公司
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上海正帆科技股份有限公司

Shanghai GenTech Co., Ltd.
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产品特征

特种电子气体和前驱体
气相沉积用气体/离子注入用气体
砷烷AsH3 合肥正帆电子材料有限公司 正帆自主研发与生产,纯度有6.5N&6N两种规格,提供用于CVD的正压钢瓶与离子注入的负压钢瓶
特种电子气体和前驱体 气相沉积用气体/离子注入用气体 磷烷PH3 合肥正帆电子材料有限公司 正帆自主研发与生产,纯度为6N,提供用于CVD的正压钢瓶与离子注入的负压钢瓶
特种电子气体和前驱体 气相沉积用气体 硅烷SiH4 合肥正帆电子材料有限公司
1)纯度为6N
2)包装:47L,440/470LY瓶,槽车
特种电子气体和前驱体 气相沉积用气体 SiH4混合气 合肥正帆电子材料有限公司 正帆生产的SiH4混合气应用于LED外延及芯片工艺,满足客户对于混配比例的高要求,混配比例50ppm~20%
特种电子气体和前驱体 气相沉积用气体 PH3混合气 合肥正帆电子材料有限公司 正帆生产的PH3混合气应用于集成电路与平板显示行业,满足客户对于混配比例的高要求,混配比例50ppm~20%

 

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上海正帆科技股份有限公司

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邮编:201108

电话:021-54428800

传真:021-54428811

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