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福建德尔科技有限公司
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福建德尔科技有限公司

Fujian Deer Technology Company Ltd
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产品分类  二级分类 产品名称 图片介绍 生产厂家  产品特征
特种电子气体和前驱体 刻蚀用气体 六氟化硫SF6 福建德尔科技有限公司 SF6 Purity>99.9995%   O2+Ar<0.5 PPMV, N2<2.0 PPMV, CO2<0.2 PPMV,CH4<0.1 PPMV, CF4<0.1PPMV C2F6<2.0PPMV  Acidity(HF)≤0.1PPMV, H2O<1.0PPMV
特种电子气体  和前驱体 刻蚀用气体 四氟化碳 福建德尔科技有限公司 CF4 Purity≥99.9997%   O2≤0.5 PPMV, N2≤1.0 PPMV, H2≤0.1PPMV CO2≤0.1 PPMV CO≤0.1PPMV,CH4≤0.1 PPMV, CHF3≤0.3PPMV OFC≤0.1PPMV Acidity(HF)≤0.1PPMV, H2O≤1.0PPMV

 

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