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四甲基氢氧化铵(TMAH,浓度25%)
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电子级四甲基氢氧化铵具有强碱性,25%的水溶液被称为碱性显影液,主要是利用其将光阻经曝光后形成的有机酸中和、剥落,留下未反应的光阻图案。金属离子<5ppb。