五星产品证书授予技术水平高、品质优良、在国内外多个集成电路制造厂实现大批量应用，且保持稳定供应的硬核关键材料产品。
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获奖项目 |
获奖单位 |
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1 |
三氟化氮NF3 |
中船重工（邯郸）派瑞特种气体有限公司 |
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2 |
六氟化钨WF6 |
中船重工（邯郸）派瑞特种气体有限公司 |
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3 |
电子级磷酸H3PO4 |
湖北兴福电子材料有限公司 |
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4 |
300mm 铝（Al）靶 |
宁波江丰电子材料股份有限公司 |
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5 |
300mm 钽（Ta）环 |
宁波江丰电子材料股份有限公司 |
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6 |
300mm 铜（Cu）阳极 |
宁波江丰电子材料股份有限公司 |
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7 |
铜抛光液系列 |
安集微电子科技(上海)股份有限公司 |
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8 |
阻挡层抛光液系列 |
安集微电子科技(上海)股份有限公司 |
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9 |
集成电路制造用高纯氢氟酸 |
中巨芯科技有限公司 |
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10 |
集成电路制造用高纯硝酸 |
中巨芯科技有限公司 |
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11 |
砷烷安全源 |
江苏南大光电材料股份有限公司 |
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12 |
磷烷安全源 |
江苏南大光电材料股份有限公司 |
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13 |
三氟化硼安全源 |
江苏南大光电材料股份有限公司 |
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14 |
电子级一氧化碳 |
广东华特气体股份有限公司 |
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15 |
电子级二氧化碳 |
广东华特气体股份有限公司 |
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16 |
芯片铜互连电镀液SYSD2110 |
上海新阳半导体材料股份有限公司 |