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投资超4亿元,宿州伊维特拟建半导体气体项目

投资超4亿元,宿州伊维特拟建半导体气体项目

来源:
气体圈子
2020/07/31
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       宿州市经济技术开发区官网7月28日发布了宿州伊维特新材料有限公司半导体气体、材料研发及国产化二期扩建项目环境影响评价第一次公示。据了解,该项目在宿州经济技术开发区金安路原厂区拟新建六氟乙烷与八氟环丁烷纯化、分装装置,设计产能500吨/年;混配气,产能45000m3/年;电子级笑气,产能6000t/a;可燃性及腐蚀性气体620t/a、可燃性气体及大宗气体85750立方/年。项目总投资40590.14万元。宿州伊维特新材料有限公司是浙江陶特容器科技有限公司的全资子公司,成立于2017年6月12日,注册资本12000万元。

       六氟乙烷因其无毒无臭、高稳定性被广泛应用在半导体制造过程中,可作为蚀刻剂( Dry Etch )、化学气相沉积后的清洗腔体。目前,六氟乙烷作为蚀刻剂及CVD腔体清洗剂,纯度都要求达到99.995% 以上。六氟乙烷 ODP 值(臭氧层破坏潜能值)为零, GWP 值 (温室效应能力)为9200,可作为低温制冷,另外少部分应用在医学手术中及其它新开发的领域。八氟环丁烷,又名全氟环丁烷,化学性质稳定,无毒且无臭氧影响,温室效应低,是一种绿色环保型特种气体,主要应用于高压绝缘、超大规模集成电路蚀刻剂、代替氯氟烃的混合制冷剂、气溶胶、清洗剂(电子工业用)、喷雾剂、热泵工作流体等。随着蒙特利尔协议的实施和电子行业的飞速增长,八氟环丁烷的作用日趋重要,使用量也在逐年上升,是一种重要的特种含氟气体。
 

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