本报告以中国市场要求为基础，采用2019年的数据，分别从产业规模、产品生产能力、研发和产业发展投入、专利情况、从业人员情况等方面对国内电子气体产业进行分析和预测。报告完成于2020年5月。

目录
1 我国特种电子气体总体产业规模 1
2 特种电子气体行业主要产品生产能力情况 4
3 特种电子气体行业研发投入情况 6
4 特种电子气体行业产业发展投入情况 7
5 特种电子气体行业拥有专利情况 7
6 特种电子气体产业从业人员情况 8

图表目录
图 1 2010-2020年特种电子气体行业公司销售收入增长及预测 2
图 2 2010-2020年用于IC制造特种电子气体产品销售收入增长及预测 3
图 3 2010-2019年用于IC制造特种电子气体在总收入中所占比例 3
图 4 2019年刻蚀用气体前十大气体年生产能力情况 (ICMtia) 5
图 5 2019年化学气相沉积用气体年生产能力情况 (ICMtia) 5
图 6 2010-2019年特种电子气体行业研发投入增长情况 6
图 7 2010-2019年特种电子气体行业产业发展投入增长情况 7
图 8 2010-2019年特种电子气体行业专利数发展趋势 8
图 9 2019年特种电子气体行业人员构成（按学历） 9
图 10 2019年特种电子气体行业人员构成（按工作性质） 9
表 1 2010-2020年特种电子气体行业公司销售收入增长及预测 2
表 2 2010-2020年用于IC制造特种电子气体产品销售收入增长及预测 2
表 3 2010-2019年用于IC制造特种电子气体在总收入中所占比例 3
表 4 2019年特种电子气体行业年生产能力情况 4
表 5 2010-2019年特种电子气体行业研发投入发展趋势 6
表 6 2010-2019年特种电子气体行业产业发展投入发展趋势 7
表 7 2010-2019年特种电子气体行业专利数发展趋势 8
表 8 2019年特种电子气体行业人员构成 8
表 9 2019年特种电子气体行业人员构成（按学历） 9
表 10 2019年特种电子气体行业人员构成（按工作性质） 9