本报告分为材料和设备两个部分，分别从国内外产业现状及发展趋势、研发和产业发展投入、专利情况、从业人员情况、产业存在的问题等方面进行分析。报告完成于2019年8月。
目录
第一部分 半导体制造材料 1
一、 国际半导体制造材料产业现状及发展趋势 1
二、 中国半导体制造材料市场需求发展趋势 3
三、 中国半导体制造用材料产业概况 5
(一) 总体情况 5
1. 行业销售收入 5
2. 行业研发投入 8
3. 申请发明专利 9
4. 行业从业人员 12
(二) 硅材料产业 14
(三) 光刻胶产业 17
(四) 工艺化学品产业 21
(五) 电子气体产业 23
(六) CMP抛光材料产业 25
(七) 溅射靶材产业 27
四、 中国半导体材料产业存在问题与思考 29
(一) 产业技术水平依然有待提升 29
(二) 企业经营产品同质化问题严重 30
(三) 供应链不完善，产业发展存在瓶颈 30
(四) 产业创新要素积累不足 31
(五) 国内市场推广难的状况有待进一步改善 31
(六) 支撑产业化技术创新发展的材料应用工艺开发与验证平台缺失 32
(七) 缺乏健全的行业标准和法律法规 32
第二部分 半导体专用设备 34
一、 全球半导体专用设备发展概况及产业市场需求分析 36
(一) 2018年全球半导体设备发展状况 36
(二) 2019年全球半导体设备市场需求分析 41
二、 中国半导体专用设备产业发展状况 42
(一) 产业规模 42
(二) 产业结构 43
(三) 技术水平 46
(四) 科技投入 49
(五) 知识产权 50
(六) 产业人才 51
三、 中国半导体装备产业存在的问题与思考 52
(一) 国产装备工艺覆盖率提升较慢，企业遭遇国际巨头恶性竞争，产品大规模商业化面临困难 52
(二) 研发投入强度严重不足，难以支撑我国集成电路产业技术追赶世界先进水平 53
(三) 下一代工艺开发验证平台缺少，装备开发落后于工艺的需求 54
(四) 人才团队总体规模不足，人才激励机制有待完善 54
(五) 零部件本地配套能力有待提高 55
图 1 中国集成电路产业销售额发展趋势 3
图 2 2018年国内晶圆制造材料市场需求构成 4
图 3 材料行业（不含封装材料）企业销售收入发展趋势 5
图 4 2018年材料行业（不含封装材料）销售收入构成 6
图 5 2018年晶圆制造材料行业用于半导体制造的产品销售收入构成 7
图 6 专用封装材料行业销售收入发展趋势 8
图 7 材料行业各专业领域研发投入情况 9
图 8 材料行业专利申请及授权情况 10
图 9 材料行业各专业领域专利申请情况 11
图 10 材料行业各专业领域专利授权情况 12
图 11 2018年材料行业各专业领域总人数情况 13
图 12 2018年材料行业人员构成(按工作性质) 13
图 13 2018年材料行业人员构成（按学历） 14
图 14 全球不同直径硅片市场现状与发展预测 15
图 15 硅材料行业企业销售收入情况 16
图 16 国内硅材料行业产能状况 17
图 17 2018年全球光刻胶市场结构 18
图 18 光刻胶行业企业销售收入增长情况 20
图 19 2018年国内光刻胶年生产能力构成 20
图 20 工艺化学品行业企业销售收入增长情况 22
图 21 电子气体行业企业销售收入增长情况 24
图 22 抛光材料行业企业的销售收入增长情况 27
图 23 溅射靶材行业企业的销售收入增长情况 28
图 24 2018年靶材行业年生产能力状况 29
图 25 全球半导体设备市场 36
图 26 中国半导体设备市场（SEMI） 38
图 27 全球半导体设备市场规模(SEMI) 42
图 28 2015-2019（E）年国产半导体设备销售明细（ICMtia） 43
图 29 2017年代表性企业半导体装备销售收入构成 45
图 30 2018年代表性企业半导体装备销售收入构成 45
图 30 中国半导体装备业研发投入（ICMtia） 49
图 31 中国半导体装备业专利申请/授权情况 50
图 32 半导体专用设备企业人员构成 51
表 1 全球晶圆制造材料市场现状及预测（亿美元，SEMI2019Q1） 2
表 2 全球半导体封装材料市场现状及预测（亿美元，SEMI2019Q1） 2
表 3 我国晶圆制造材料市场需求预测（亿元人民币） 3
表 4 我国半导体封装材料市场需求预测（亿元人民币） 4
表 5 材料行业各专业领域（不含封装材料）企业销售收入情况（亿元人民币） 6
表 6 晶圆制造材料行业用于半导体制造的产品销售收入情况（亿元人民币） 7
表 7 材料行业各专业领域研发投入情况(亿元，ICMtia) 8
表 8 材料行业各专业领域专利申请情况（项，ICMtia） 10
表 9 材料行业各专业领域专利授权情况（项，ICMtia） 11
表 10 2018年国内电子气体行业产能状况（ICMtia） 25
表 11 我国22家代表性半导体专用设备企业综合统计情况 34
表 12 全球半导体产业装备投资支出情况 37
表 13 全球半导体设备销售额的地区分布（亿美元，SEMI） 39
表 14 2018年全球前十大晶圆制造设备供应商（Gartner） 39
表 15 2018年中国大陆半导体设备制造十强企业（亿元，CEPEA） 41
表 16 2018年度（第十二届）中国半导体设备创新产品 48