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湖北兴福电子级硫酸品质攻关取得重大突破

湖北兴福电子级硫酸品质攻关取得重大突破

来源:
湖北兴福
2018/10/16
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电子化学品是半导体和液晶显示器制程起始步骤和关键步骤的主要电子化学品之一,其纯度和质量是影响集成电路和平板显示器性能、成品率及可靠性的关键因素。电子化学品主要包括电子级磷酸、硫酸、氨水、氢氟酸、显影液、蚀刻液等单品以及功能性化学品。日前,湖北兴福电子材料有限公司(以下简称“湖北兴福”)电子级硫酸技术攻关取得重大突破,产品品质已完全超越SEMI-C12级别(SEMI国际标准,分为SEMI-C1、SEMI-C7、SEMI-C8和SEMI-C12四个级别,SEMI-C12为最高级别),与国际电子化学品最大供应商巴斯夫的产品品质处于同一级别(金属离子<10ppt),并向国内部分12寸晶圆厂稳定供货。

电子级硫酸又称高纯硫酸、超纯硫酸,属于超净高纯试剂,主要用于硅晶片的清洗和蚀刻,可有效除去晶片上的杂质颗粒、无机残留物和碳沉积物。随着集成电路(IC)向大规模和超大规模、极大规模的发展,芯片集成度越来高,晶圆表面的光刻线条越来越精细,IC的更新换代速度越来越快,对电子级硫酸的品质要求也越来越严格。

湖北兴福是由我国最大的精细磷化工企业——湖北兴发化工集团股份有限公司控股,集电子化学品研发、生产、销售及相关技术服务于一体的综合性企业。湖北兴福依托于自主培养的电子化学品专业人才队伍与母公司80万吨/年工业硫酸项目,于2017年4月建成年产能1万吨的电子级硫酸项目,并高标准的配备了气相色谱仪(GC)、离子色谱仪(IC)、电感耦合等离子体质普仪(ICP-MS)、partical在线监测系统等一系列高端检测仪器及超净检测环境。在电子化学品激烈的竞争与芯片国产化需求的倒逼下,公司历经一年多的技术攻关,成功攻克电子级硫酸金属离子浓度不稳定这一关键难题,将产品中各金属离子浓度均稳定在10ppt以内,颗粒度完全满足客户要求,产品品质达到国内领先、世界一流的水平,这是湖北兴福继2018年5月份电子级磷酸品质取得重大突破以来的又一重大突破,由此湖北兴福电子级硫酸、电子级磷酸冲破国际高端电子化学品的技术垄断,与世界先进水平比肩而立、同台竞技。

湖北兴福始终坚持“核心技术、关键技术,化缘是化不来的”,坚持自主创新、自主培养专业技术人才的发展路线,持续拓展电子化学品供应品类,努力打造世界知名半导体材料综合服务商,成为长江经济带企业转型升级的标杆!







 

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