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北京市海淀区知春路27号量子芯座

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“300mm硅片工艺用溅射靶材研发与产业化”  ----联盟成员单位承担的02专项项目通过验收

“300mm硅片工艺用溅射靶材研发与产业化”  ----联盟成员单位承担的02专项项目通过验收

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