中国船舶重工集团公司第七一八研究所从事NF₃研发工作始于20世纪70年代末期，于2002年底研制出电解法制备99．99％高纯NF₃气体的工艺方法并实现规模化生产。后经过对工艺流程及操作参数的不断优化和调整，NF₃气体纯度达到了99．996％，产能达到1350吨/年。在NF₃产品技术日臻成熟的基础上，研究所于2006年成功研制出了99．9999％的高纯WF₆气体并完成了生产线建设，现产能达到150吨/年。

718所从事特种气体研发及生产人员逾200人，设销售、质检、安全、技术、产品、生产等科室。除上述气体外，还开发了D₂、NH₃等的生产及销售工作。凭借雄厚的科研实力及不懈努力，该所于2012年承担了国家“02专项”任务，共承担9种气体、10种混合气体的研制。目前，特种气体生产规模达到1800吨，2012年实现产品销售收入近3亿元。

该所特种气体产品已在中芯国际、京东方、中航光电子、日本昭和、法国液空等公司批量应用。为保证客户对产品的绝对满意，定期派专人拜访客户，了解产品的使用情况及新需求，赢得客户对产品质量的良好的评价，采购份额逐年增加。2010年位居中芯国际气体供应商排名第一；2012年获上海华虹NEC颁发“最具潜力供应商奖”。

面向未来，718所将进一步提升产品质量及生产工艺，加大科研力度，与时俱进，为促进国产特种气体产品的不断完善，勇挑重担，为我国特种气体事业“争口气”，为集成电路产业链建设作贡献。