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TSMC与ITRI 开发出颗粒监测系统以提高产量

TSMC与ITRI 开发出颗粒监测系统以提高产量

来源:
2016/01/06
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台北 — 台湾工业技术研究院(ITRI)和台积电(TSMC)已经开发出一种新系统,可以监测芯片制造过程中液体里可能导致缺陷的颗粒。

这个系统被命名为SuperSizer,可以测量尺寸从3nm1,000nm的颗粒,扩展了目前监测和检验工具的40nm上限。这个系统还可以测量颗粒浓度,帮助减少芯片底层和结构上的杂质和划痕。

TSMC已经在CMP过程中使用了SuperSizer系统,并证明此系统可以减少CMP中的缺陷率和划痕,提高产量。

ITRI纳米与机械测量实验室的研究负责人Wei-En Fu EE Times的采访中说,“在过去的两到三年,由于颗粒的原因,台积电不得不关闭整个生产线两到三天,随着技术节点在明年或2017年下降到10纳米,有害颗粒将小于10纳米。这是唯一可以原位测量如此小颗粒的工具。”

ITRITSMCSuperSizer的一部分:“雾化器模块用于将溶液中的颗粒转换为气溶胶。”

当只有少数芯片制造商在研发10nm制程时,ITRI表示SuperSizer可以在不那么先进的制程中监测大多数粒径范围的颗粒。

Wei-En Fu说,“大多数芯片制造商希望监测30nm20nm以下粒径的颗粒,”这个ITRI系统可以通过调节来监测这个范围内的颗粒。“也可以在相对低的浓度下测量颗粒。”

Wei-En Fu还表示,一个SuperSizer单元的价格根据所具备的功能类型来定,约为$730,000,如果只用于监测纯水,价格约为$450,000。这个系统可以监测四种抛光液以及清洗用水。

ITRI拥有这项技术及相关专利,可以接收订单来生产这个系统,但研究机构计划最终将许可权交给台湾一家公司来进行量产。

ITRI纳米与机械测量实验室有大约四个正在进行的项目与半导体产业相关,包括利用x光折射率测量膜厚、测量CMP中抛光垫表面粗糙度的仪器、利用EUV散射测量芯片的关键特性等。

SuperSizer—超细颗粒分级系统

ITRI是全球最大的政府资助技术研发机构之一,还拥有其他半导体产业相关的部门,如材料、光电子技术等。作为台湾最大的芯片厂商,TSMCUMC是从ITRI起步的项目中分拆出来的。

Alan Patterson负责EE Times的半导体产业报导,他目前在台湾。

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